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德州市(陵城区、乐陵市、宁津县、齐河县、禹城市、庆云县、平原县、夏津县、武城县、临邑县、德城区)

南平市(浦城县、建阳区、顺昌县、延平区、政和县、松溪县、武夷山市、邵武市、光泽县、建瓯市)

鄂州市(华容区、鄂城区、梁子湖区)

昌都市(类乌齐县、卡若区、贡觉县、江达县、芒康县、察雅县、边坝县、丁青县、八宿县、洛隆县、左贡县)  天水市(清水县、秦州区、张家川回族自治县、甘谷县、秦安县、武山县、麦积区)

西宁市(城中区、湟源县、大通回族土族自治县、城东区、湟中区、城西区、城北区)

抚顺市(新宾满族自治县、望花区、顺城区、清原满族自治县、抚顺县、东洲区、新抚区)

宁夏回族自治区沈阳市(沈北新区、新民市、苏家屯区、铁西区、沈河区、于洪区、辽中区、大东区、法库县、康平县、和平区、浑南区、皇姑区)

咸阳市(长武县、兴平市、泾阳县、杨陵区、秦都区、礼泉县、三原县、彬州市、永寿县、武功县、淳化县、旬邑县、渭城区、乾县)  马鞍山市(和县、博望区、当涂县、含山县、雨山区、花山区)

资阳市(安岳县、乐至县、雁江区)

铜仁市(印江土家族苗族自治县、德江县、松桃苗族自治县、玉屏侗族自治县、沿河土家族自治县、思南县、碧江区、石阡县、万山区、江口县)

银川市(永宁县、兴庆区、贺兰县、灵武市、金凤区、西夏区)

长沙市(岳麓区、长沙县、宁乡市、浏阳市、天心区、望城区、雨花区、芙蓉区、开福区)

杭州市(富阳区、西湖区、上城区、淳安县、拱墅区、钱塘区、建德市、余杭区、萧山区、滨江区、桐庐县、临安区、临平区)

泉州市(惠安县、鲤城区、石狮市、金门县、安溪县、德化县、晋江市、南安市、永春县、丰泽区、洛江区、泉港区)

哈尔滨市(延寿县、尚志市、道外区、双城区、宾县、阿城区、呼兰区、五常市、香坊区、道里区、平房区、松北区、依兰县、木兰县、南岗区、通河县、巴彦县、方正县)

秦皇岛市(昌黎县、山海关区、青龙满族自治县、北戴河区、海港区、抚宁区、卢龙县)

武威市(古浪县、凉州区、民勤县、天祝藏族自治县)

抚州市(资溪县、南城县、宜黄县、南丰县、黎川县、金溪县、临川区、乐安县、东乡区、广昌县、崇仁县)

鞍山市(台安县、铁东区、岫岩满族自治县、铁西区、千山区、海城市、立山区)

锡林郭勒盟(阿巴嘎旗、锡林浩特市、二连浩特市、镶黄旗、苏尼特右旗、东乌珠穆沁旗、多伦县、太仆寺旗、正蓝旗、苏尼特左旗、正镶白旗、西乌珠穆沁旗)

娄底市(冷水江市、涟源市、娄星区、双峰县、新化县)

邯郸市(涉县、邯山区、永年区、馆陶县、大名县、魏县、武安市、肥乡区、复兴区、临漳县、丛台区、鸡泽县、邱县、成安县、磁县、广平县、峰峰矿区、曲周县)

安阳市(林州市、滑县、北关区、文峰区、内黄县、汤阴县、安阳县、龙安区、殷都区)

延边朝鲜族自治州(安图县、延吉市、和龙市、龙井市、敦化市、汪清县、图们市、珲春市)

南京市(高淳区、秦淮区、栖霞区、浦口区、溧水区、鼓楼区、雨花台区、六合区、玄武区、江宁区、建邺区)

安庆市(大观区、桐城市、宿松县、太湖县、望江县、岳西县、潜山市、怀宁县、宜秀区、迎江区)

牡丹江市(阳明区、穆棱市、爱民区、宁安市、绥芬河市、林口县、东安区、东宁市、西安区、海林市)

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石家庄市(赞皇县、井陉县、鹿泉区、赵县、行唐县、深泽县、晋州市、裕华区、辛集市、无极县、藁城区、井陉矿区、高邑县、长安区、元氏县、平山县、桥西区、正定县、栾城区、新华区、新乐市、灵寿县)

巴中市(巴州区、平昌县、恩阳区、南江县、通江县)

承德市(滦平县、鹰手营子矿区、宽城满族自治县、围场满族蒙古族自治县、隆化县、双滦区、承德县、兴隆县、平泉市、双桥区、丰宁满族自治县)

黔南布依族苗族自治州(惠水县、龙里县、瓮安县、贵定县、都匀市、平塘县、独山县、长顺县、罗甸县、三都水族自治县、福泉市、荔波县)  三门峡市(义马市、陕州区、渑池县、湖滨区、灵宝市、卢氏县)

楚雄彝族自治州(南华县、武定县、永仁县、大姚县、楚雄市、姚安县、牟定县、双柏县、元谋县、禄丰市)

金华市(东阳市、磐安县、义乌市、兰溪市、浦江县、武义县、婺城区、金东区、永康市)

芜湖市(弋江区、无为市、湾沚区、繁昌区、镜湖区、鸠江区、南陵县)韶关市(仁化县、始兴县、浈江区、曲江区、乐昌市、新丰县、乳源瑶族自治县、南雄市、翁源县、武江区)

荆门市(钟祥市、京山市、掇刀区、东宝区、沙洋县)  宜昌市(秭归县、五峰土家族自治县、兴山县、西陵区、枝江市、宜都市、猇亭区、夷陵区、远安县、长阳土家族自治县、点军区、伍家岗区、当阳市)

珠海市(斗门区、香洲区、金湾区)

遂宁市(射洪市、安居区、大英县、蓬溪县、船山区)

雅安市(天全县、雨城区、芦山县、宝兴县、名山区、汉源县、荥经县、石棉县)昌吉回族自治州(木垒哈萨克自治县、呼图壁县、阜康市、吉木萨尔县、玛纳斯县、昌吉市、奇台县)

柳州市(柳北区、柳南区、三江侗族自治县、城中区、融水苗族自治县、融安县、柳江区、鱼峰区、鹿寨县、柳城县)

南阳市(内乡县、方城县、邓州市、南召县、桐柏县、西峡县、宛城区、淅川县、卧龙区、唐河县、新野县、镇平县、社旗县)

漯河市(郾城区、舞阳县、源汇区、召陵区、临颍县)

玉溪市(易门县、红塔区、华宁县、峨山彝族自治县、澄江市、元江哈尼族彝族傣族自治县、新平彝族傣族自治县、江川区、通海县)

澳门特别行政区

蚌埠市(怀远县、禹会区、五河县、固镇县、龙子湖区、蚌山区、淮上区)

舟山市(定海区、嵊泗县、普陀区、岱山县)

周口市(郸城县、淮阳区、商水县、太康县、鹿邑县、项城市、川汇区、西华县、沈丘县、扶沟县)

怒江傈僳族自治州(兰坪白族普米族自治县、泸水市、福贡县、贡山独龙族怒族自治县)

十堰市(房县、竹溪县、竹山县、丹江口市、茅箭区、张湾区、郧阳区、郧西县)

双鸭山市(岭东区、饶河县、尖山区、集贤县、四方台区、宝清县、友谊县、宝山区)

曲靖市(会泽县、麒麟区、罗平县、宣威市、师宗县、沾益区、陆良县、富源县、马龙区)

临沧市(双江拉祜族佤族布朗族傣族自治县、云县、临翔区、沧源佤族自治县、永德县、镇康县、耿马傣族佤族自治县、凤庆县)

青岛市(崂山区、李沧区、即墨区、市南区、胶州市、黄岛区、莱西市、城阳区、市北区、平度市)

洛阳市(老城区、西工区、汝阳县、伊川县、洛宁县、涧西区、栾川县、嵩县、瀍河回族区、偃师区、宜阳县、洛龙区、新安县、孟津区)

阿勒泰地区(青河县、哈巴河县、阿勒泰市、富蕴县、吉木乃县、布尔津县、福海县)

中国半导体设备产业动态频频，以中微公司和北方华创为代表的国内龙头企业纷纷展现强劲的增长势头和战略布局。中微公司通过大幅增资强化技术研发和市场拓展，巩固其在刻蚀设备领域的领先地位；北方华创则通过对外投资和股权收购，积极拓展业务版图，并在业绩上实现显著增长。

众所周知，中国正在加紧推进半导体的国产化进程，其中设备作为半导体产业的基石，其国产化水平决定着整个半导体产业链的自主可控程度。近期有预测称，到2025年中国大陆半导体设备整体国产化率有望达到50%，该消息引起了行业一众关注。究竟真实进展如何？

中微公司增资至40亿，增幅300%

4月21日，企查查显示，中微半导体（上海）有限公司宣布注册资本由10亿元人民币增至40亿元人民币，增幅达300%。通过增资，中微公司将进一步增强资金实力，加速技术研发和市场拓展，提升在全球半导体设备市场的竞争力。

中微公司2024年财报显示，公司实现营业收入90.65亿元，同比增长44.7%，其中刻蚀设备贡献超72亿元，同比增长54.7%，稳居国产刻蚀设备龙头。尽管净利润约16.16亿元，同比下滑9.5%，但扣非净利润约13.88亿元，同比增长16.5%。这一下滑主要受研发投入激增影响，2024年研发费用达24.5亿元，同比增长94.3%。公司创始人尹志尧表示，2024年人均销售超过400万元，达到设备产业国际先进水平。

从出货设备来看，刻蚀领域，该公司的CCP刻蚀设备2024年生产付运超过1200反应台，创历史新高，累计装机量超过4000反应台；薄膜沉积设备领域，LPCVD设备累计出货量已突破150个反应台，2024年获得约4.76亿元批量订单，ALD（原子层沉积）设备和其他关键薄膜沉积设备研发项目正在顺利推进，EPI（外延）设备已顺利进入客户端量产验证阶段。

量测设备领域，中微公司控股子公司超微半导体设备（上海）有限公司拟增资至1.6亿元，中微公司持股比例将降至47.2%，但仍保持控制权。据悉，超微公司重点开发电子束量检测设备，该设备是芯片制造和先进封装工艺中的关键设备，对我国发展新质生产力至关重要。

今年1月，中微公司计划在成都市高新区投资设立全资子公司中微半导体设备（成都）有限公司，建设研发及生产基地暨西南总部项目。项目总投资约30.5亿元，主要用于研发薄膜设备。该公司将作为中微公司的西南总部，建设包括研发中心、生产基地和配套设施，预计2025年开工，2027年投入生产。

北方华创：拟向全资子公司增资4亿元，并参与北京电控增资

4月18日，北方华创公告，公司拟以全资子公司北方华创创新投资(北京)有限公司作为出资平台，与北京电子控股有限责任公司（以下简称“北京电控”）各出资4亿元人民币，以非公开协议方式向北京电控控股子公司北京电控产业投资有限公司增资。

据悉，电控产投将主要通过基金和股权投资方式，围绕集成电路、人工智能、物联网等应用领域，投资布局发展潜力大、技术或产品好的标的企业。此次增资总额为8亿元，其中北方华创出资4亿元，北京电控出资4亿元。增资完成后，电控产投注册资本将增至18.57亿元，北方华创持股比例为17.6847%。

资料显示，电控产投成立于2008年10月30日，注册资本12亿元，股权结构上，北京电控持有50%的股权、京东方持有33.3%股权、电子城持有16.7%股权。

值得注意的是，当前北方华创持续扩大业务布局。今年3月31日，北方华创公告，受让沈阳中科天盛自动化技术有限公司（下称“中科天盛”）持有的芯源微股份1690万股，占芯源微总股本的8.41%。更早前的3月10日，北方华创与沈阳先进制造技术产业有限公司（下称“先进制造”）签署了股份转让协议，北方华创拟受让先进制造持有的芯源微9.49%股份，合计1906.49万股，交易金额为16.87亿元。

受益于半导体行业回暖，北方华创业绩亮眼。2024年，北方华创实现营业收入298.38亿元，同比增长35.14%；归属于上市公司股东的净利润为56.21亿元，同比增长44.17%。该公司还发布了2025年一季度业绩预告显示，预计实现营收73.4亿元至89.8亿元，同比增长23.35%-50.91%；预计实现归母净利润14.2亿元至17.4亿元，同比增长24.69%-52.79%。

北方华创表示，2024年公司深耕半导体基础产品领域，经营业绩稳定增长。公司集成电路装备领域多款新产品取得突破，工艺覆盖度及市场占有率显著增长，产品销量同比大幅度增加。今年一季度，公司集成电路装备领域电容耦合等离子体刻蚀设备（CCP）、原子层沉积设备（ALD）、高端单片清洗机等多款新产品实现关键技术突破，工艺覆盖度显著增长，同时多款成熟产品市场占有率稳步提升。凭借优良的产品、技术和服务优势，公司市场份额持续扩大，营业收入同比提升。

中国半导体设备国产化进程飙升

据SEMI数据，中国作为全球最大的半导体消费市场，强劲的市场需求为半导体设备产业的发展提供了强大动力。近年来，国内半导体设备企业在技术突破和国产替代方面持续发力并取得显著进展。以北方华创、中微公司、盛美上海等为代表的设备公司，在技术研发和市场拓展上成果斐然，逐步成为市场竞争中的重要力量。截至2024年，中国半导体设备国产化率提升至13.6%，在刻蚀、清洗、去胶和CMP设备市场，国产化率已突破双位数。尽管光刻设备与国际先进水平仍存在差距，但也取得了部分突破。

全球前五大半导体设备厂商均专注于前道设备应用，分别是应用材料、ASML、东京电子、Lam Research和科磊（KLA）。其中，应用材料、东京电子、泛林半导体是平台型企业，业务横跨刻蚀、薄膜、清洗、离子注入等多个领域，而ASML和KLA属于细分领域龙头。从行业发展趋势来看，向平台型企业发展是进入全球设备第一梯队的关键路径。

由上表可知，在中国大陆，我国目前在发展平台型设备厂商方面卓有成效的主要有北方华创、中微公司、盛美上海和万业企业，而在各细分领域也出现了诸如拓荆科技、芯源微、华海清科、长川科技（维权）、精测电子、中科飞测等代表性企业。

我国设备平台型企业发展情况各有不同，北方华创发展较早，已形成规模，是国内唯一成型的平台型设备企业；中微公司和盛美上海处于加速成长阶段，具备一定规模；万业企业虽处于发展初期，但明确朝着“平台型”企业的目标迈进。从企业发展体量来看，自2022年起，设备行业诞生了北方华创和晶盛机电两个百亿设备巨头。

据全球半导体观察综合中国半导体产业协会、企业财报、半导体行业咨询公司等行业各方消息可知，我国在去胶、清洗、刻蚀设备方面国产化率较高；在CMP、热处理、薄膜沉积领域，近几年国产化取得明显突破；然而在量测、涂胶显影、光刻、离子注入等设备领域，仍较为薄弱。

去胶设备领域来看，中国半导体国产化率在2023-2024年显著提升，尤其在成熟制程（28nm及以上，下同）和中低端市场已实现较高替代率。综合行业多方数据显示，在中低端市场，国产化率约75%-90%，主要覆盖成熟制程、功率半导体、先进封装等领域；而在高端市场上，在先进逻辑芯片（14nm以下，下同）和高端存储芯片（3DNAND/DRAM）中，国产化率仍低于30%，这部分主要依赖东京电子、LamResearch等国际厂商。目前，我国在去胶设备领域的代表企业主要有屹唐半导体、浙江宇谦、上海稷以、北方华创、盛美上海等，总体来看国产设备在“去胶+清洗”集成设备中占优。

清洗设备领域，我国国产化率已不断提高至50-60%，代表企业主要有北方华创、盛美上海、至纯科技、芯源微、屹唐半导体等。

在刻蚀设备领域，我国在成熟制程国产化率约为50%-60%，主要应用于逻辑芯片、功率半导体和存储芯片（如3DNAND）；而在先进制程，国产化率不足15%，高端市场被Lam Research、东京电子、应用材料等垄断。在该领域我国主要代表企业有中微公司、北方华创、嘉芯半导体、屹唐半导体等，另外拓荆科技、盛美上海、芯源微虽然没有专门推出转有的刻蚀设备，但其部分领域设备均有涉及刻蚀工艺。

在热处理设备领域，我国国产化率约为30%-40%，主要代表企业有北方华创、晶盛机电、中微公司、拓荆科技、嘉芯半导体等，另外华海清科、拓荆科技、芯源微部分领域设备均有涉及热处理工艺，占据一定市场份额。

PVD设备领域则是北方华创、捷佳伟创、嘉芯半导体、中电科、科睿设备有限公司、中科院沈阳科学仪器、合肥科晶材料、晶盛机电、中微公司、盛美上海、拓荆科技。该领域设备国产化率还处于较低水平，约为15%-20%，其中在先进制程领域，国产化率仅为10%左右，主要依赖进口。

半导体CMP设备领域，我国在成熟制程国产化率约15%-25%，主要应用于功率半导体、MEMS传感器等领域；而在先进制程上国产化率不足10%，高端市场由应用材料、荏原制作所等垄断。我国在该领域上的代表企业主要有盛美上海、华海清科、中国电科、鼎龙控股、烁科精微等。

涂胶显影设备是光刻工艺的核心设备之一，主要用于晶圆的光刻胶涂覆、显影等步骤。在该领域，我国国产化率约为10%-15%（主要集中在封装和成熟制程），前道设备国产化率不足10%。行业消息显示，涂胶显影设备的主要挑战在于设备稳定性、工艺精度（如均匀性控制）、与光刻机的协同适配方面。我国涂胶显影设备主要代表企业则是盛美上海、芯源微、北方华创、中微公司、华峰测控等。

在离子注入设备领域，我国在成熟制程上的国产化率约10%-20%，主要应用于功率半导体、MEMS传感器等非先进逻辑芯片领域；而在先进制程国产化率不足5%，市场由应用材料、Axcelis、日立国际电气主导。目前，国产设备在中高能量（>200keV）和超低能量（<1keV）离子注入领域仍落后，束流均匀性（±3%vs国际±1%）和稳定性待提升。而在晶圆尺寸适配上，12英寸设备成熟度低，8英寸设备逐步替代进口。此外在相关重要配件上如离子源、质量分析器等长期依赖进口。该领域我国主要代表企业为凯世通、中国电科、烁科中信科、北方华创、中微公司等。

半导体量测设备包括晶圆缺陷检测、关键尺寸测量（CD-SEM）、膜厚测量（椭偏仪）、套刻精度测量等，技术门槛极高。该领域整体国产化率约为10%-15%，我国主要在中低端设备和部分细分领域取得突破，其中前道高端设备（如EUV相关检测）国产化率不足5%。目前该领域的主要发展瓶颈在于核心光学部件（如高精度激光器）、算法软件（缺陷分类与数据分析）依赖进口，设备稳定性与海外巨头存在差距。在量测领域我国主要代表企业为上海微电子、中科飞测、精测电子、华海清科、北方华创等。

在半导体光刻设备前道制造（EUV/ArF浸没式）领域，国产化率约为0%-1％。而在成熟制程光刻机（KrF/i-line，90nm及以上），国产化率约10%-15%，主要用于功率半导体、MEMS、分立器件等领域。而在封装光刻机（后道先进封装），在上海微电子主导下，国产化率不断提升。在该领域我国的主要代表企业有上海微电子、中国电科、北方华创等。据悉，上海微电子计划推出支持55nm制程的KrF光刻机，并推进28nm光刻机量产验证。