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阜阳市(界首市、颍州区、颍泉区、颍东区、颍上县、太和县、临泉县、阜南县)

乌鲁木齐市(水磨沟区、乌鲁木齐县、头屯河区、达坂城区、米东区、沙依巴克区、新市区、天山区)

宿迁市(沭阳县、宿豫区、泗洪县、宿城区、泗阳县)

恩施土家族苗族自治州(咸丰县、建始县、恩施市、利川市、鹤峰县、巴东县、来凤县、宣恩县)  潍坊市(昌邑市、诸城市、潍城区、安丘市、坊子区、奎文区、寒亭区、青州市、临朐县、寿光市、昌乐县、高密市)

南通市(海安市、海门区、如东县、启东市、如皋市、崇川区、通州区)

曲靖市(麒麟区、陆良县、罗平县、宣威市、会泽县、沾益区、富源县、师宗县、马龙区)

茂名市(化州市、高州市、茂南区、信宜市、电白区)

鞍山市(铁西区、铁东区、岫岩满族自治县、台安县、立山区、海城市、千山区)  北京市(大兴区、顺义区、平谷区、通州区、延庆区、东城区、昌平区、房山区、怀柔区、朝阳区、密云区、丰台区、石景山区、海淀区、西城区、门头沟区)

巴彦淖尔市(临河区、杭锦后旗、乌拉特后旗、乌拉特前旗、五原县、乌拉特中旗、磴口县)

吕梁市(交城县、石楼县、兴县、柳林县、岚县、离石区、孝义市、文水县、中阳县、方山县、临县、交口县、汾阳市)

晋城市(泽州县、阳城县、沁水县、城区、陵川县、高平市)

资阳市(雁江区、乐至县、安岳县)

宜昌市(秭归县、五峰土家族自治县、点军区、夷陵区、长阳土家族自治县、当阳市、兴山县、远安县、宜都市、猇亭区、西陵区、伍家岗区、枝江市)

克孜勒苏柯尔克孜自治州(阿合奇县、阿图什市、乌恰县、阿克陶县)

德宏傣族景颇族自治州(芒市、瑞丽市、陇川县、盈江县、梁河县)

黄山市(屯溪区、黟县、歙县、祁门县、徽州区、休宁县、黄山区)

海东市(民和回族土族自治县、平安区、乐都区、循化撒拉族自治县、化隆回族自治县、互助土族自治县)

林芝市(米林市、墨脱县、工布江达县、朗县、巴宜区、波密县、察隅县)

内蒙古自治区

抚顺市(新宾满族自治县、顺城区、望花区、东洲区、清原满族自治县、抚顺县、新抚区)

营口市(大石桥市、老边区、西市区、盖州市、鲅鱼圈区、站前区)

赣州市(兴国县、大余县、龙南市、赣县区、信丰县、定南县、安远县、章贡区、石城县、全南县、崇义县、上犹县、寻乌县、于都县、会昌县、南康区、宁都县、瑞金市)

吐鲁番市(托克逊县、高昌区、鄯善县)

西宁市(城东区、湟源县、湟中区、城西区、大通回族土族自治县、城北区、城中区)

烟台市(招远市、牟平区、龙口市、莱州市、莱阳市、栖霞市、福山区、莱山区、海阳市、芝罘区、蓬莱区)

塔城地区(和布克赛尔蒙古自治县、裕民县、托里县、额敏县、乌苏市、塔城市、沙湾市)

聊城市(临清市、东阿县、阳谷县、莘县、冠县、高唐县、东昌府区、茌平区)

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阿里地区(改则县、革吉县、噶尔县、日土县、普兰县、札达县、措勤县)

十堰市(郧阳区、茅箭区、张湾区、竹溪县、郧西县、竹山县、丹江口市、房县)

佛山市(南海区、顺德区、禅城区、三水区、高明区)

襄阳市(南漳县、保康县、谷城县、老河口市、枣阳市、襄城区、襄州区、樊城区、宜城市)  广安市(华蓥市、前锋区、岳池县、广安区、武胜县、邻水县)

拉萨市(达孜区、尼木县、林周县、墨竹工卡县、曲水县、城关区、当雄县、堆龙德庆区)

延安市(宝塔区、黄龙县、甘泉县、子长市、宜川县、安塞区、洛川县、延长县、志丹县、黄陵县、富县、延川县、吴起县)

天津市(红桥区、北辰区、西青区、河西区、武清区、宝坻区、河东区、东丽区、静海区、滨海新区、和平区、河北区、蓟州区、津南区、宁河区、南开区)凉山彝族自治州(木里藏族自治县、会东县、盐源县、布拖县、越西县、金阳县、会理市、甘洛县、昭觉县、普格县、德昌县、西昌市、冕宁县、美姑县、雷波县、喜德县、宁南县)

广州市(越秀区、黄埔区、南沙区、天河区、增城区、海珠区、白云区、荔湾区、从化区、番禺区、花都区)  普洱市(西盟佤族自治县、景东彝族自治县、孟连傣族拉祜族佤族自治县、江城哈尼族彝族自治县、澜沧拉祜族自治县、墨江哈尼族自治县、思茅区、景谷傣族彝族自治县、镇沅彝族哈尼族拉祜族自治县、宁洱哈尼族彝族自治县)

辽源市(东辽县、东丰县、龙山区、西安区)

鄂尔多斯市(杭锦旗、准格尔旗、鄂托克旗、鄂托克前旗、东胜区、乌审旗、伊金霍洛旗、康巴什区、达拉特旗)

黔西南布依族苗族自治州(晴隆县、普安县、望谟县、兴义市、安龙县、贞丰县、兴仁市、册亨县)宜宾市(高县、南溪区、翠屏区、筠连县、江安县、兴文县、长宁县、屏山县、叙州区、珙县)

长春市(双阳区、公主岭市、农安县、德惠市、朝阳区、南关区、九台区、宽城区、绿园区、二道区、榆树市)

宜春市(丰城市、宜丰县、铜鼓县、袁州区、上高县、樟树市、奉新县、高安市、万载县、靖安县)

吉安市(吉州区、峡江县、安福县、永新县、万安县、新干县、泰和县、青原区、吉安县、永丰县、吉水县、遂川县、井冈山市)

商洛市(镇安县、山阳县、洛南县、商南县、柞水县、丹凤县、商州区)

五指山市(陵水黎族自治县、临高县、琼海市、琼中黎族苗族自治县、白沙黎族自治县、屯昌县、乐东黎族自治县、东方市、澄迈县、万宁市、昌江黎族自治县、定安县、保亭黎族苗族自治县、文昌市)

黑河市(爱辉区、嫩江市、孙吴县、逊克县、五大连池市、北安市)

廊坊市(永清县、广阳区、香河县、固安县、文安县、大城县、大厂回族自治县、安次区、霸州市、三河市)

三明市(清流县、沙县区、建宁县、将乐县、明溪县、尤溪县、永安市、大田县、泰宁县、宁化县、三元区)

牡丹江市(宁安市、林口县、绥芬河市、爱民区、东宁市、阳明区、海林市、穆棱市、东安区、西安区)

本溪市(平山区、明山区、本溪满族自治县、溪湖区、桓仁满族自治县、南芬区)

山南市(曲松县、琼结县、加查县、隆子县、桑日县、扎囊县、乃东区、浪卡子县、洛扎县、贡嘎县、错那市、措美县)

陇南市(西和县、徽县、康县、成县、两当县、文县、礼县、宕昌县、武都区)

菏泽市(牡丹区、单县、成武县、定陶区、鄄城县、巨野县、曹县、东明县、郓城县)

唐山市(滦州市、开平区、遵化市、乐亭县、路南区、丰润区、迁安市、曹妃甸区、迁西县、玉田县、滦南县、丰南区、路北区、古冶区)

南京市(浦口区、江宁区、栖霞区、玄武区、溧水区、鼓楼区、秦淮区、六合区、建邺区、雨花台区、高淳区)

昆明市(嵩明县、官渡区、安宁市、宜良县、呈贡区、石林彝族自治县、富民县、东川区、晋宁区、寻甸回族彝族自治县、盘龙区、五华区、西山区、禄劝彝族苗族自治县)

中国半导体设备产业动态频频，以中微公司和北方华创为代表的国内龙头企业纷纷展现强劲的增长势头和战略布局。中微公司通过大幅增资强化技术研发和市场拓展，巩固其在刻蚀设备领域的领先地位；北方华创则通过对外投资和股权收购，积极拓展业务版图，并在业绩上实现显著增长。

众所周知，中国正在加紧推进半导体的国产化进程，其中设备作为半导体产业的基石，其国产化水平决定着整个半导体产业链的自主可控程度。近期有预测称，到2025年中国大陆半导体设备整体国产化率有望达到50%，该消息引起了行业一众关注。究竟真实进展如何？

中微公司增资至40亿，增幅300%

4月21日，企查查显示，中微半导体（上海）有限公司宣布注册资本由10亿元人民币增至40亿元人民币，增幅达300%。通过增资，中微公司将进一步增强资金实力，加速技术研发和市场拓展，提升在全球半导体设备市场的竞争力。

中微公司2024年财报显示，公司实现营业收入90.65亿元，同比增长44.7%，其中刻蚀设备贡献超72亿元，同比增长54.7%，稳居国产刻蚀设备龙头。尽管净利润约16.16亿元，同比下滑9.5%，但扣非净利润约13.88亿元，同比增长16.5%。这一下滑主要受研发投入激增影响，2024年研发费用达24.5亿元，同比增长94.3%。公司创始人尹志尧表示，2024年人均销售超过400万元，达到设备产业国际先进水平。

从出货设备来看，刻蚀领域，该公司的CCP刻蚀设备2024年生产付运超过1200反应台，创历史新高，累计装机量超过4000反应台；薄膜沉积设备领域，LPCVD设备累计出货量已突破150个反应台，2024年获得约4.76亿元批量订单，ALD（原子层沉积）设备和其他关键薄膜沉积设备研发项目正在顺利推进，EPI（外延）设备已顺利进入客户端量产验证阶段。

量测设备领域，中微公司控股子公司超微半导体设备（上海）有限公司拟增资至1.6亿元，中微公司持股比例将降至47.2%，但仍保持控制权。据悉，超微公司重点开发电子束量检测设备，该设备是芯片制造和先进封装工艺中的关键设备，对我国发展新质生产力至关重要。

今年1月，中微公司计划在成都市高新区投资设立全资子公司中微半导体设备（成都）有限公司，建设研发及生产基地暨西南总部项目。项目总投资约30.5亿元，主要用于研发薄膜设备。该公司将作为中微公司的西南总部，建设包括研发中心、生产基地和配套设施，预计2025年开工，2027年投入生产。

北方华创：拟向全资子公司增资4亿元，并参与北京电控增资

4月18日，北方华创公告，公司拟以全资子公司北方华创创新投资(北京)有限公司作为出资平台，与北京电子控股有限责任公司（以下简称“北京电控”）各出资4亿元人民币，以非公开协议方式向北京电控控股子公司北京电控产业投资有限公司增资。

据悉，电控产投将主要通过基金和股权投资方式，围绕集成电路、人工智能、物联网等应用领域，投资布局发展潜力大、技术或产品好的标的企业。此次增资总额为8亿元，其中北方华创出资4亿元，北京电控出资4亿元。增资完成后，电控产投注册资本将增至18.57亿元，北方华创持股比例为17.6847%。

资料显示，电控产投成立于2008年10月30日，注册资本12亿元，股权结构上，北京电控持有50%的股权、京东方持有33.3%股权、电子城持有16.7%股权。

值得注意的是，当前北方华创持续扩大业务布局。今年3月31日，北方华创公告，受让沈阳中科天盛自动化技术有限公司（下称“中科天盛”）持有的芯源微股份1690万股，占芯源微总股本的8.41%。更早前的3月10日，北方华创与沈阳先进制造技术产业有限公司（下称“先进制造”）签署了股份转让协议，北方华创拟受让先进制造持有的芯源微9.49%股份，合计1906.49万股，交易金额为16.87亿元。

受益于半导体行业回暖，北方华创业绩亮眼。2024年，北方华创实现营业收入298.38亿元，同比增长35.14%；归属于上市公司股东的净利润为56.21亿元，同比增长44.17%。该公司还发布了2025年一季度业绩预告显示，预计实现营收73.4亿元至89.8亿元，同比增长23.35%-50.91%；预计实现归母净利润14.2亿元至17.4亿元，同比增长24.69%-52.79%。

北方华创表示，2024年公司深耕半导体基础产品领域，经营业绩稳定增长。公司集成电路装备领域多款新产品取得突破，工艺覆盖度及市场占有率显著增长，产品销量同比大幅度增加。今年一季度，公司集成电路装备领域电容耦合等离子体刻蚀设备（CCP）、原子层沉积设备（ALD）、高端单片清洗机等多款新产品实现关键技术突破，工艺覆盖度显著增长，同时多款成熟产品市场占有率稳步提升。凭借优良的产品、技术和服务优势，公司市场份额持续扩大，营业收入同比提升。

中国半导体设备国产化进程飙升

据SEMI数据，中国作为全球最大的半导体消费市场，强劲的市场需求为半导体设备产业的发展提供了强大动力。近年来，国内半导体设备企业在技术突破和国产替代方面持续发力并取得显著进展。以北方华创、中微公司、盛美上海等为代表的设备公司，在技术研发和市场拓展上成果斐然，逐步成为市场竞争中的重要力量。截至2024年，中国半导体设备国产化率提升至13.6%，在刻蚀、清洗、去胶和CMP设备市场，国产化率已突破双位数。尽管光刻设备与国际先进水平仍存在差距，但也取得了部分突破。

全球前五大半导体设备厂商均专注于前道设备应用，分别是应用材料、ASML、东京电子、Lam Research和科磊（KLA）。其中，应用材料、东京电子、泛林半导体是平台型企业，业务横跨刻蚀、薄膜、清洗、离子注入等多个领域，而ASML和KLA属于细分领域龙头。从行业发展趋势来看，向平台型企业发展是进入全球设备第一梯队的关键路径。

由上表可知，在中国大陆，我国目前在发展平台型设备厂商方面卓有成效的主要有北方华创、中微公司、盛美上海和万业企业，而在各细分领域也出现了诸如拓荆科技、芯源微、华海清科、长川科技（维权）、精测电子、中科飞测等代表性企业。

我国设备平台型企业发展情况各有不同，北方华创发展较早，已形成规模，是国内唯一成型的平台型设备企业；中微公司和盛美上海处于加速成长阶段，具备一定规模；万业企业虽处于发展初期，但明确朝着“平台型”企业的目标迈进。从企业发展体量来看，自2022年起，设备行业诞生了北方华创和晶盛机电两个百亿设备巨头。

据全球半导体观察综合中国半导体产业协会、企业财报、半导体行业咨询公司等行业各方消息可知，我国在去胶、清洗、刻蚀设备方面国产化率较高；在CMP、热处理、薄膜沉积领域，近几年国产化取得明显突破；然而在量测、涂胶显影、光刻、离子注入等设备领域，仍较为薄弱。

去胶设备领域来看，中国半导体国产化率在2023-2024年显著提升，尤其在成熟制程（28nm及以上，下同）和中低端市场已实现较高替代率。综合行业多方数据显示，在中低端市场，国产化率约75%-90%，主要覆盖成熟制程、功率半导体、先进封装等领域；而在高端市场上，在先进逻辑芯片（14nm以下，下同）和高端存储芯片（3DNAND/DRAM）中，国产化率仍低于30%，这部分主要依赖东京电子、LamResearch等国际厂商。目前，我国在去胶设备领域的代表企业主要有屹唐半导体、浙江宇谦、上海稷以、北方华创、盛美上海等，总体来看国产设备在“去胶+清洗”集成设备中占优。

清洗设备领域，我国国产化率已不断提高至50-60%，代表企业主要有北方华创、盛美上海、至纯科技、芯源微、屹唐半导体等。

在刻蚀设备领域，我国在成熟制程国产化率约为50%-60%，主要应用于逻辑芯片、功率半导体和存储芯片（如3DNAND）；而在先进制程，国产化率不足15%，高端市场被Lam Research、东京电子、应用材料等垄断。在该领域我国主要代表企业有中微公司、北方华创、嘉芯半导体、屹唐半导体等，另外拓荆科技、盛美上海、芯源微虽然没有专门推出转有的刻蚀设备，但其部分领域设备均有涉及刻蚀工艺。

在热处理设备领域，我国国产化率约为30%-40%，主要代表企业有北方华创、晶盛机电、中微公司、拓荆科技、嘉芯半导体等，另外华海清科、拓荆科技、芯源微部分领域设备均有涉及热处理工艺，占据一定市场份额。

PVD设备领域则是北方华创、捷佳伟创、嘉芯半导体、中电科、科睿设备有限公司、中科院沈阳科学仪器、合肥科晶材料、晶盛机电、中微公司、盛美上海、拓荆科技。该领域设备国产化率还处于较低水平，约为15%-20%，其中在先进制程领域，国产化率仅为10%左右，主要依赖进口。

半导体CMP设备领域，我国在成熟制程国产化率约15%-25%，主要应用于功率半导体、MEMS传感器等领域；而在先进制程上国产化率不足10%，高端市场由应用材料、荏原制作所等垄断。我国在该领域上的代表企业主要有盛美上海、华海清科、中国电科、鼎龙控股、烁科精微等。

涂胶显影设备是光刻工艺的核心设备之一，主要用于晶圆的光刻胶涂覆、显影等步骤。在该领域，我国国产化率约为10%-15%（主要集中在封装和成熟制程），前道设备国产化率不足10%。行业消息显示，涂胶显影设备的主要挑战在于设备稳定性、工艺精度（如均匀性控制）、与光刻机的协同适配方面。我国涂胶显影设备主要代表企业则是盛美上海、芯源微、北方华创、中微公司、华峰测控等。

在离子注入设备领域，我国在成熟制程上的国产化率约10%-20%，主要应用于功率半导体、MEMS传感器等非先进逻辑芯片领域；而在先进制程国产化率不足5%，市场由应用材料、Axcelis、日立国际电气主导。目前，国产设备在中高能量（>200keV）和超低能量（<1keV）离子注入领域仍落后，束流均匀性（±3%vs国际±1%）和稳定性待提升。而在晶圆尺寸适配上，12英寸设备成熟度低，8英寸设备逐步替代进口。此外在相关重要配件上如离子源、质量分析器等长期依赖进口。该领域我国主要代表企业为凯世通、中国电科、烁科中信科、北方华创、中微公司等。

半导体量测设备包括晶圆缺陷检测、关键尺寸测量（CD-SEM）、膜厚测量（椭偏仪）、套刻精度测量等，技术门槛极高。该领域整体国产化率约为10%-15%，我国主要在中低端设备和部分细分领域取得突破，其中前道高端设备（如EUV相关检测）国产化率不足5%。目前该领域的主要发展瓶颈在于核心光学部件（如高精度激光器）、算法软件（缺陷分类与数据分析）依赖进口，设备稳定性与海外巨头存在差距。在量测领域我国主要代表企业为上海微电子、中科飞测、精测电子、华海清科、北方华创等。

在半导体光刻设备前道制造（EUV/ArF浸没式）领域，国产化率约为0%-1％。而在成熟制程光刻机（KrF/i-line，90nm及以上），国产化率约10%-15%，主要用于功率半导体、MEMS、分立器件等领域。而在封装光刻机（后道先进封装），在上海微电子主导下，国产化率不断提升。在该领域我国的主要代表企业有上海微电子、中国电科、北方华创等。据悉，上海微电子计划推出支持55nm制程的KrF光刻机，并推进28nm光刻机量产验证。