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宣城市(广德市、绩溪县、旌德县、泾县、宣州区、宁国市、郎溪县)

长治市(沁县、平顺县、潞城区、壶关县、沁源县、屯留区、黎城县、潞州区、上党区、长子县、武乡县、襄垣县)

文山壮族苗族自治州(富宁县、西畴县、马关县、砚山县、广南县、丘北县、文山市、麻栗坡县)

牡丹江市(绥芬河市、林口县、穆棱市、阳明区、东安区、东宁市、海林市、西安区、爱民区、宁安市)  白银市(会宁县、白银区、景泰县、平川区、靖远县)

渭南市(白水县、澄城县、富平县、华阴市、合阳县、蒲城县、潼关县、临渭区、韩城市、华州区、大荔县)

淄博市(博山区、淄川区、周村区、高青县、桓台县、临淄区、张店区、沂源县)

怒江傈僳族自治州(兰坪白族普米族自治县、福贡县、贡山独龙族怒族自治县、泸水市)

伊犁哈萨克自治州(昭苏县、霍尔果斯市、尼勒克县、察布查尔锡伯自治县、伊宁市、奎屯市、特克斯县、新源县、霍城县、伊宁县、巩留县)  乐山市(沐川县、马边彝族自治县、金口河区、峨眉山市、沙湾区、峨边彝族自治县、五通桥区、井研县、市中区、犍为县、夹江县)

酒泉市(敦煌市、肃北蒙古族自治县、阿克塞哈萨克族自治县、玉门市、瓜州县、肃州区、金塔县)

襄阳市(宜城市、老河口市、襄州区、襄城区、枣阳市、保康县、樊城区、南漳县、谷城县)

娄底市(冷水江市、娄星区、双峰县、涟源市、新化县)

宝鸡市(眉县、陈仓区、陇县、扶风县、岐山县、凤县、金台区、渭滨区、凤翔区、麟游县、太白县、千阳县)

西安市(鄠邑区、碑林区、临潼区、蓝田县、雁塔区、周至县、阎良区、新城区、未央区、长安区、莲湖区、高陵区、灞桥区)

河池市(罗城仫佬族自治县、大化瑶族自治县、东兰县、巴马瑶族自治县、环江毛南族自治县、天峨县、南丹县、凤山县、宜州区、金城江区、都安瑶族自治县)

金华市(金东区、婺城区、兰溪市、磐安县、永康市、浦江县、东阳市、义乌市、武义县)

凉山彝族自治州(昭觉县、普格县、布拖县、会理市、会东县、喜德县、越西县、美姑县、宁南县、雷波县、德昌县、冕宁县、金阳县、甘洛县、盐源县、木里藏族自治县、西昌市)

广州市(荔湾区、海珠区、增城区、越秀区、白云区、花都区、天河区、番禺区、黄埔区、南沙区、从化区)

拉萨市(尼木县、当雄县、城关区、林周县、达孜区、曲水县、墨竹工卡县、堆龙德庆区)

驻马店市(确山县、汝南县、上蔡县、遂平县、新蔡县、平舆县、泌阳县、正阳县、驿城区、西平县)

周口市(川汇区、鹿邑县、淮阳区、商水县、郸城县、西华县、沈丘县、项城市、太康县、扶沟县)

佛山市(禅城区、三水区、高明区、顺德区、南海区)

深圳市(宝安区、坪山区、南山区、福田区、罗湖区、龙岗区、光明区、龙华区、盐田区)

运城市(盐湖区、绛县、芮城县、夏县、稷山县、垣曲县、临猗县、闻喜县、永济市、河津市、平陆县、万荣县、新绛县)

鸡西市(虎林市、城子河区、恒山区、梨树区、密山市、鸡东县、滴道区、麻山区、鸡冠区)

安庆市(望江县、宜秀区、岳西县、怀宁县、太湖县、潜山市、大观区、桐城市、迎江区、宿松县)

武威市(天祝藏族自治县、民勤县、古浪县、凉州区)

咸阳市(礼泉县、乾县、渭城区、彬州市、泾阳县、秦都区、旬邑县、兴平市、武功县、杨陵区、淳化县、长武县、永寿县、三原县)

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西藏自治区

伊春市(伊美区、大箐山县、丰林县、铁力市、汤旺县、友好区、嘉荫县、金林区、乌翠区、南岔县)

商丘市(柘城县、永城市、民权县、梁园区、睢阳区、宁陵县、夏邑县、睢县、虞城县)

泰安市(新泰市、宁阳县、东平县、岱岳区、泰山区、肥城市)  嘉峪关市

厦门市(湖里区、思明区、集美区、同安区、海沧区、翔安区)

商洛市(商州区、丹凤县、洛南县、山阳县、商南县、柞水县、镇安县)

赣州市(崇义县、石城县、大余县、宁都县、上犹县、定南县、全南县、安远县、于都县、信丰县、寻乌县、龙南市、兴国县、南康区、会昌县、赣县区、瑞金市、章贡区)广元市(剑阁县、青川县、利州区、旺苍县、苍溪县、朝天区、昭化区)

河源市(源城区、紫金县、和平县、连平县、东源县、龙川县)  西双版纳傣族自治州(景洪市、勐海县、勐腊县)

扬州市(仪征市、邗江区、高邮市、广陵区、宝应县、江都区)

阿拉善盟(阿拉善左旗、阿拉善右旗、额济纳旗)

雅安市(荥经县、天全县、宝兴县、芦山县、雨城区、石棉县、名山区、汉源县)陇南市(康县、礼县、文县、宕昌县、两当县、成县、徽县、西和县、武都区)

铁岭市(铁岭县、调兵山市、清河区、西丰县、昌图县、银州区、开原市)

佳木斯市(桦川县、抚远市、向阳区、同江市、汤原县、郊区、前进区、富锦市、桦南县、东风区)

青岛市(莱西市、崂山区、市北区、市南区、胶州市、李沧区、平度市、即墨区、黄岛区、城阳区)

鹰潭市(贵溪市、月湖区、余江区)

南通市(崇川区、通州区、如皋市、海门区、启东市、海安市、如东县)

新乡市(封丘县、辉县市、卫辉市、长垣市、新乡县、延津县、原阳县、获嘉县、凤泉区、牧野区、卫滨区、红旗区)

南宁市(江南区、宾阳县、青秀区、上林县、良庆区、隆安县、武鸣区、马山县、西乡塘区、横州市、兴宁区、邕宁区)

汉中市(西乡县、宁强县、南郑区、城固县、镇巴县、佛坪县、略阳县、洋县、汉台区、勉县、留坝县)

眉山市(仁寿县、洪雅县、彭山区、青神县、东坡区、丹棱县)

丹东市(东港市、振兴区、元宝区、凤城市、振安区、宽甸满族自治县)

五指山市(陵水黎族自治县、乐东黎族自治县、万宁市、定安县、琼海市、文昌市、临高县、保亭黎族苗族自治县、东方市、屯昌县、昌江黎族自治县、琼中黎族苗族自治县、澄迈县、白沙黎族自治县)

临沧市(临翔区、双江拉祜族佤族布朗族傣族自治县、凤庆县、耿马傣族佤族自治县、永德县、镇康县、云县、沧源佤族自治县)

保山市(腾冲市、施甸县、隆阳区、昌宁县、龙陵县)

哈密市(巴里坤哈萨克自治县、伊州区、伊吾县)

邵阳市(新邵县、大祥区、隆回县、邵东市、绥宁县、城步苗族自治县、洞口县、邵阳县、武冈市、北塔区、双清区、新宁县)

茂名市(电白区、化州市、茂南区、信宜市、高州市)

中国半导体设备产业动态频频，以中微公司和北方华创为代表的国内龙头企业纷纷展现强劲的增长势头和战略布局。中微公司通过大幅增资强化技术研发和市场拓展，巩固其在刻蚀设备领域的领先地位；北方华创则通过对外投资和股权收购，积极拓展业务版图，并在业绩上实现显著增长。

众所周知，中国正在加紧推进半导体的国产化进程，其中设备作为半导体产业的基石，其国产化水平决定着整个半导体产业链的自主可控程度。近期有预测称，到2025年中国大陆半导体设备整体国产化率有望达到50%，该消息引起了行业一众关注。究竟真实进展如何？

中微公司增资至40亿，增幅300%

4月21日，企查查显示，中微半导体（上海）有限公司宣布注册资本由10亿元人民币增至40亿元人民币，增幅达300%。通过增资，中微公司将进一步增强资金实力，加速技术研发和市场拓展，提升在全球半导体设备市场的竞争力。

中微公司2024年财报显示，公司实现营业收入90.65亿元，同比增长44.7%，其中刻蚀设备贡献超72亿元，同比增长54.7%，稳居国产刻蚀设备龙头。尽管净利润约16.16亿元，同比下滑9.5%，但扣非净利润约13.88亿元，同比增长16.5%。这一下滑主要受研发投入激增影响，2024年研发费用达24.5亿元，同比增长94.3%。公司创始人尹志尧表示，2024年人均销售超过400万元，达到设备产业国际先进水平。

从出货设备来看，刻蚀领域，该公司的CCP刻蚀设备2024年生产付运超过1200反应台，创历史新高，累计装机量超过4000反应台；薄膜沉积设备领域，LPCVD设备累计出货量已突破150个反应台，2024年获得约4.76亿元批量订单，ALD（原子层沉积）设备和其他关键薄膜沉积设备研发项目正在顺利推进，EPI（外延）设备已顺利进入客户端量产验证阶段。

量测设备领域，中微公司控股子公司超微半导体设备（上海）有限公司拟增资至1.6亿元，中微公司持股比例将降至47.2%，但仍保持控制权。据悉，超微公司重点开发电子束量检测设备，该设备是芯片制造和先进封装工艺中的关键设备，对我国发展新质生产力至关重要。

今年1月，中微公司计划在成都市高新区投资设立全资子公司中微半导体设备（成都）有限公司，建设研发及生产基地暨西南总部项目。项目总投资约30.5亿元，主要用于研发薄膜设备。该公司将作为中微公司的西南总部，建设包括研发中心、生产基地和配套设施，预计2025年开工，2027年投入生产。

北方华创：拟向全资子公司增资4亿元，并参与北京电控增资

4月18日，北方华创公告，公司拟以全资子公司北方华创创新投资(北京)有限公司作为出资平台，与北京电子控股有限责任公司（以下简称“北京电控”）各出资4亿元人民币，以非公开协议方式向北京电控控股子公司北京电控产业投资有限公司增资。

据悉，电控产投将主要通过基金和股权投资方式，围绕集成电路、人工智能、物联网等应用领域，投资布局发展潜力大、技术或产品好的标的企业。此次增资总额为8亿元，其中北方华创出资4亿元，北京电控出资4亿元。增资完成后，电控产投注册资本将增至18.57亿元，北方华创持股比例为17.6847%。

资料显示，电控产投成立于2008年10月30日，注册资本12亿元，股权结构上，北京电控持有50%的股权、京东方持有33.3%股权、电子城持有16.7%股权。

值得注意的是，当前北方华创持续扩大业务布局。今年3月31日，北方华创公告，受让沈阳中科天盛自动化技术有限公司（下称“中科天盛”）持有的芯源微股份1690万股，占芯源微总股本的8.41%。更早前的3月10日，北方华创与沈阳先进制造技术产业有限公司（下称“先进制造”）签署了股份转让协议，北方华创拟受让先进制造持有的芯源微9.49%股份，合计1906.49万股，交易金额为16.87亿元。

受益于半导体行业回暖，北方华创业绩亮眼。2024年，北方华创实现营业收入298.38亿元，同比增长35.14%；归属于上市公司股东的净利润为56.21亿元，同比增长44.17%。该公司还发布了2025年一季度业绩预告显示，预计实现营收73.4亿元至89.8亿元，同比增长23.35%-50.91%；预计实现归母净利润14.2亿元至17.4亿元，同比增长24.69%-52.79%。

北方华创表示，2024年公司深耕半导体基础产品领域，经营业绩稳定增长。公司集成电路装备领域多款新产品取得突破，工艺覆盖度及市场占有率显著增长，产品销量同比大幅度增加。今年一季度，公司集成电路装备领域电容耦合等离子体刻蚀设备（CCP）、原子层沉积设备（ALD）、高端单片清洗机等多款新产品实现关键技术突破，工艺覆盖度显著增长，同时多款成熟产品市场占有率稳步提升。凭借优良的产品、技术和服务优势，公司市场份额持续扩大，营业收入同比提升。

中国半导体设备国产化进程飙升

据SEMI数据，中国作为全球最大的半导体消费市场，强劲的市场需求为半导体设备产业的发展提供了强大动力。近年来，国内半导体设备企业在技术突破和国产替代方面持续发力并取得显著进展。以北方华创、中微公司、盛美上海等为代表的设备公司，在技术研发和市场拓展上成果斐然，逐步成为市场竞争中的重要力量。截至2024年，中国半导体设备国产化率提升至13.6%，在刻蚀、清洗、去胶和CMP设备市场，国产化率已突破双位数。尽管光刻设备与国际先进水平仍存在差距，但也取得了部分突破。

全球前五大半导体设备厂商均专注于前道设备应用，分别是应用材料、ASML、东京电子、Lam Research和科磊（KLA）。其中，应用材料、东京电子、泛林半导体是平台型企业，业务横跨刻蚀、薄膜、清洗、离子注入等多个领域，而ASML和KLA属于细分领域龙头。从行业发展趋势来看，向平台型企业发展是进入全球设备第一梯队的关键路径。

由上表可知，在中国大陆，我国目前在发展平台型设备厂商方面卓有成效的主要有北方华创、中微公司、盛美上海和万业企业，而在各细分领域也出现了诸如拓荆科技、芯源微、华海清科、长川科技（维权）、精测电子、中科飞测等代表性企业。

我国设备平台型企业发展情况各有不同，北方华创发展较早，已形成规模，是国内唯一成型的平台型设备企业；中微公司和盛美上海处于加速成长阶段，具备一定规模；万业企业虽处于发展初期，但明确朝着“平台型”企业的目标迈进。从企业发展体量来看，自2022年起，设备行业诞生了北方华创和晶盛机电两个百亿设备巨头。

据全球半导体观察综合中国半导体产业协会、企业财报、半导体行业咨询公司等行业各方消息可知，我国在去胶、清洗、刻蚀设备方面国产化率较高；在CMP、热处理、薄膜沉积领域，近几年国产化取得明显突破；然而在量测、涂胶显影、光刻、离子注入等设备领域，仍较为薄弱。

去胶设备领域来看，中国半导体国产化率在2023-2024年显著提升，尤其在成熟制程（28nm及以上，下同）和中低端市场已实现较高替代率。综合行业多方数据显示，在中低端市场，国产化率约75%-90%，主要覆盖成熟制程、功率半导体、先进封装等领域；而在高端市场上，在先进逻辑芯片（14nm以下，下同）和高端存储芯片（3DNAND/DRAM）中，国产化率仍低于30%，这部分主要依赖东京电子、LamResearch等国际厂商。目前，我国在去胶设备领域的代表企业主要有屹唐半导体、浙江宇谦、上海稷以、北方华创、盛美上海等，总体来看国产设备在“去胶+清洗”集成设备中占优。

清洗设备领域，我国国产化率已不断提高至50-60%，代表企业主要有北方华创、盛美上海、至纯科技、芯源微、屹唐半导体等。

在刻蚀设备领域，我国在成熟制程国产化率约为50%-60%，主要应用于逻辑芯片、功率半导体和存储芯片（如3DNAND）；而在先进制程，国产化率不足15%，高端市场被Lam Research、东京电子、应用材料等垄断。在该领域我国主要代表企业有中微公司、北方华创、嘉芯半导体、屹唐半导体等，另外拓荆科技、盛美上海、芯源微虽然没有专门推出转有的刻蚀设备，但其部分领域设备均有涉及刻蚀工艺。

在热处理设备领域，我国国产化率约为30%-40%，主要代表企业有北方华创、晶盛机电、中微公司、拓荆科技、嘉芯半导体等，另外华海清科、拓荆科技、芯源微部分领域设备均有涉及热处理工艺，占据一定市场份额。

PVD设备领域则是北方华创、捷佳伟创、嘉芯半导体、中电科、科睿设备有限公司、中科院沈阳科学仪器、合肥科晶材料、晶盛机电、中微公司、盛美上海、拓荆科技。该领域设备国产化率还处于较低水平，约为15%-20%，其中在先进制程领域，国产化率仅为10%左右，主要依赖进口。

半导体CMP设备领域，我国在成熟制程国产化率约15%-25%，主要应用于功率半导体、MEMS传感器等领域；而在先进制程上国产化率不足10%，高端市场由应用材料、荏原制作所等垄断。我国在该领域上的代表企业主要有盛美上海、华海清科、中国电科、鼎龙控股、烁科精微等。

涂胶显影设备是光刻工艺的核心设备之一，主要用于晶圆的光刻胶涂覆、显影等步骤。在该领域，我国国产化率约为10%-15%（主要集中在封装和成熟制程），前道设备国产化率不足10%。行业消息显示，涂胶显影设备的主要挑战在于设备稳定性、工艺精度（如均匀性控制）、与光刻机的协同适配方面。我国涂胶显影设备主要代表企业则是盛美上海、芯源微、北方华创、中微公司、华峰测控等。

在离子注入设备领域，我国在成熟制程上的国产化率约10%-20%，主要应用于功率半导体、MEMS传感器等非先进逻辑芯片领域；而在先进制程国产化率不足5%，市场由应用材料、Axcelis、日立国际电气主导。目前，国产设备在中高能量（>200keV）和超低能量（<1keV）离子注入领域仍落后，束流均匀性（±3%vs国际±1%）和稳定性待提升。而在晶圆尺寸适配上，12英寸设备成熟度低，8英寸设备逐步替代进口。此外在相关重要配件上如离子源、质量分析器等长期依赖进口。该领域我国主要代表企业为凯世通、中国电科、烁科中信科、北方华创、中微公司等。

半导体量测设备包括晶圆缺陷检测、关键尺寸测量（CD-SEM）、膜厚测量（椭偏仪）、套刻精度测量等，技术门槛极高。该领域整体国产化率约为10%-15%，我国主要在中低端设备和部分细分领域取得突破，其中前道高端设备（如EUV相关检测）国产化率不足5%。目前该领域的主要发展瓶颈在于核心光学部件（如高精度激光器）、算法软件（缺陷分类与数据分析）依赖进口，设备稳定性与海外巨头存在差距。在量测领域我国主要代表企业为上海微电子、中科飞测、精测电子、华海清科、北方华创等。

在半导体光刻设备前道制造（EUV/ArF浸没式）领域，国产化率约为0%-1％。而在成熟制程光刻机（KrF/i-line，90nm及以上），国产化率约10%-15%，主要用于功率半导体、MEMS、分立器件等领域。而在封装光刻机（后道先进封装），在上海微电子主导下，国产化率不断提升。在该领域我国的主要代表企业有上海微电子、中国电科、北方华创等。据悉，上海微电子计划推出支持55nm制程的KrF光刻机，并推进28nm光刻机量产验证。