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苏州市(张家港市、虎丘区、相城区、吴江区、吴中区、常熟市、昆山市、姑苏区、太仓市)
池州市(东至县、青阳县、贵池区、石台县)
恩施土家族苗族自治州(巴东县、咸丰县、利川市、鹤峰县、来凤县、宣恩县、恩施市、建始县)
呼伦贝尔市(根河市、莫力达瓦达斡尔族自治旗、新巴尔虎右旗、满洲里市、牙克石市、海拉尔区、陈巴尔虎旗、新巴尔虎左旗、扎赉诺尔区、鄂伦春自治旗、阿荣旗、扎兰屯市、鄂温克族自治旗、额尔古纳市)
吉林市(昌邑区、桦甸市、蛟河市、丰满区、舒兰市、龙潭区、永吉县、船营区、磐石市)
新余市(渝水区、分宜县)
潮州市(潮安区、湘桥区、饶平县)
陇南市(文县、成县、徽县、礼县、两当县、宕昌县、康县、西和县、武都区)
周口市(川汇区、太康县、郸城县、沈丘县、项城市、西华县、商水县、鹿邑县、淮阳区、扶沟县)
钦州市(钦南区、浦北县、钦北区、灵山县)
中山市
镇江市(京口区、丹阳市、润州区、扬中市、丹徒区、句容市)
普洱市(景东彝族自治县、澜沧拉祜族自治县、思茅区、西盟佤族自治县、孟连傣族拉祜族佤族自治县、江城哈尼族彝族自治县、景谷傣族彝族自治县、墨江哈尼族自治县、镇沅彝族哈尼族拉祜族自治县、宁洱哈尼族彝族自治县)
鹰潭市(余江区、贵溪市、月湖区)
葫芦岛市(建昌县、南票区、龙港区、兴城市、连山区、绥中县)
荆州市(荆州区、沙市区、松滋市、监利市、洪湖市、石首市、公安县、江陵县)
西双版纳傣族自治州(景洪市、勐腊县、勐海县)
佛山市(南海区、高明区、三水区、禅城区、顺德区)
龙岩市(漳平市、上杭县、新罗区、连城县、长汀县、永定区、武平县)
淮南市(田家庵区、凤台县、潘集区、寿县、八公山区、大通区、谢家集区)
九江市(都昌县、修水县、永修县、浔阳区、濂溪区、武宁县、德安县、彭泽县、瑞昌市、湖口县、共青城市、庐山市、柴桑区)
果洛藏族自治州(玛沁县、甘德县、班玛县、久治县、玛多县、达日县)
武汉市(蔡甸区、硚口区、洪山区、江岸区、汉阳区、新洲区、黄陂区、江汉区、汉南区、东西湖区、武昌区、江夏区、青山区)
雅安市(宝兴县、雨城区、天全县、名山区、荥经县、石棉县、汉源县、芦山县)
上饶市(鄱阳县、婺源县、玉山县、铅山县、广信区、弋阳县、信州区、德兴市、广丰区、余干县、横峰县、万年县)
宣城市(广德市、绩溪县、泾县、旌德县、宁国市、宣州区、郎溪县)
鹤壁市(淇滨区、浚县、山城区、淇县、鹤山区)
松原市(扶余市、前郭尔罗斯蒙古族自治县、宁江区、长岭县、乾安县)
楚雄彝族自治州(武定县、楚雄市、元谋县、禄丰市、双柏县、南华县、大姚县、永仁县、姚安县、牟定县)
沈阳市(法库县、大东区、康平县、沈北新区、于洪区、浑南区、皇姑区、辽中区、和平区、苏家屯区、铁西区、沈河区、新民市)
舟山市(岱山县、定海区、普陀区、嵊泗县)
石嘴山市(惠农区、平罗县、大武口区)
日喀则市(仁布县、岗巴县、亚东县、定结县、萨嘎县、萨迦县、吉隆县、南木林县、谢通门县、仲巴县、白朗县、拉孜县、定日县、聂拉木县、昂仁县、桑珠孜区、江孜县、康马县)
宜昌市(五峰土家族自治县、宜都市、秭归县、夷陵区、枝江市、长阳土家族自治县、猇亭区、远安县、伍家岗区、点军区、兴山县、西陵区、当阳市)
淮北市(杜集区、濉溪县、烈山区、相山区)
三亚市(海棠区、吉阳区、天涯区、崖州区)
菏泽市(单县、巨野县、东明县、鄄城县、定陶区、郓城县、曹县、成武县、牡丹区)
本溪市(平山区、本溪满族自治县、南芬区、明山区、溪湖区、桓仁满族自治县)
南通市(崇川区、如皋市、如东县、海安市、海门区、通州区、启东市)
随州市(曾都区、随县、广水市)
抚州市(东乡区、宜黄县、崇仁县、南城县、资溪县、黎川县、南丰县、乐安县、金溪县、广昌县、临川区)
平顶山市(卫东区、叶县、汝州市、石龙区、鲁山县、湛河区、舞钢市、宝丰县、郏县、新华区)
韶关市(曲江区、武江区、翁源县、新丰县、乳源瑶族自治县、浈江区、仁化县、始兴县、南雄市、乐昌市)
廊坊市(固安县、文安县、大厂回族自治县、大城县、广阳区、永清县、安次区、三河市、霸州市、香河县)
乌鲁木齐市(天山区、米东区、头屯河区、沙依巴克区、乌鲁木齐县、新市区、达坂城区、水磨沟区)
南充市(嘉陵区、南部县、高坪区、西充县、营山县、仪陇县、顺庆区、阆中市、蓬安县)
淮安市(淮安区、淮阴区、洪泽区、金湖县、盱眙县、清江浦区、涟水县)
广西壮族自治区
兰州市(安宁区、榆中县、永登县、七里河区、城关区、红古区、皋兰县、西固区)
兴安盟(阿尔山市、科尔沁右翼前旗、乌兰浩特市、科尔沁右翼中旗、扎赉特旗、突泉县)
沧州市(青县、肃宁县、运河区、泊头市、孟村回族自治县、沧县、黄骅市、海兴县、吴桥县、南皮县、河间市、新华区、献县、东光县、任丘市、盐山县)
湘潭市(岳塘区、雨湖区、韶山市、湘乡市、湘潭县)
贵港市(港北区、港南区、桂平市、平南县、覃塘区)
盐城市(建湖县、亭湖区、大丰区、滨海县、射阳县、东台市、响水县、盐都区、阜宁县)
成都市(新津区、双流区、温江区、郫都区、简阳市、成华区、金牛区、彭州市、大邑县、锦江区、新都区、都江堰市、青白江区、邛崃市、崇州市、青羊区、蒲江县、金堂县、武侯区、龙泉驿区)
保山市(腾冲市、昌宁县、龙陵县、隆阳区、施甸县)
漯河市(召陵区、源汇区、临颍县、舞阳县、郾城区)
清远市(清新区、英德市、连州市、连南瑶族自治县、阳山县、连山壮族瑶族自治县、清城区、佛冈县)
辽源市(东丰县、西安区、龙山区、东辽县)
丽水市(莲都区、青田县、遂昌县、云和县、庆元县、龙泉市、松阳县、缙云县、景宁畲族自治县)
达州市(万源市、开江县、渠县、大竹县、宣汉县、达川区、通川区)
三明市(三元区、泰宁县、永安市、尤溪县、明溪县、将乐县、沙县区、建宁县、清流县、大田县、宁化县)
湖州市(德清县、长兴县、安吉县、吴兴区、南浔区)
太原市(晋源区、尖草坪区、杏花岭区、娄烦县、清徐县、小店区、迎泽区、万柏林区、古交市、阳曲县)
辽阳市(白塔区、宏伟区、辽阳县、文圣区、灯塔市、弓长岭区、太子河区)
内江市(隆昌市、威远县、市中区、资中县、东兴区)
宁德市(屏南县、福安市、柘荣县、福鼎市、蕉城区、古田县、霞浦县、寿宁县、周宁县)
绥化市(明水县、庆安县、海伦市、安达市、肇东市、兰西县、绥棱县、青冈县、北林区、望奎县)
怒江傈僳族自治州(福贡县、泸水市、兰坪白族普米族自治县、贡山独龙族怒族自治县)
张家界市(慈利县、武陵源区、桑植县、永定区)
保定市(安新县、徐水区、涞源县、易县、安国市、望都县、涞水县、雄县、阜平县、定兴县、蠡县、莲池区、高阳县、涿州市、满城区、清苑区、容城县、竞秀区、定州市、顺平县、博野县、曲阳县、高碑店市、唐县)
洛阳市(孟津区、汝阳县、宜阳县、洛宁县、伊川县、栾川县、偃师区、新安县、涧西区、洛龙区、嵩县、西工区、瀍河回族区、老城区)
十堰市(郧西县、张湾区、郧阳区、房县、茅箭区、丹江口市、竹溪县、竹山县)
文山壮族苗族自治州(西畴县、富宁县、麻栗坡县、丘北县、砚山县、广南县、文山市、马关县)
哈尔滨市(五常市、道外区、呼兰区、巴彦县、方正县、南岗区、依兰县、尚志市、宾县、木兰县、阿城区、道里区、通河县、双城区、延寿县、松北区、平房区、香坊区)
郴州市(北湖区、汝城县、宜章县、嘉禾县、安仁县、永兴县、桂东县、临武县、苏仙区、资兴市、桂阳县)
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上海市(金山区、长宁区、嘉定区、黄浦区、松江区、崇明区、奉贤区、普陀区、宝山区、青浦区、浦东新区、徐汇区、杨浦区、闵行区、虹口区、静安区)
滨州市(阳信县、滨城区、邹平市、博兴县、惠民县、沾化区、无棣县)
澳门特别行政区
临沂市(平邑县、兰陵县、郯城县、罗庄区、莒南县、费县、蒙阴县、临沭县、沂水县、沂南县、兰山区、河东区)
大庆市(林甸县、大同区、萨尔图区、杜尔伯特蒙古族自治县、让胡路区、肇源县、龙凤区、红岗区、肇州县)
宜宾市(江安县、屏山县、南溪区、叙州区、翠屏区、筠连县、长宁县、珙县、高县、兴文县)
延边朝鲜族自治州(安图县、延吉市、和龙市、图们市、龙井市、珲春市、汪清县、敦化市)
博尔塔拉蒙古自治州(温泉县、阿拉山口市、博乐市、精河县)
曲靖市(罗平县、沾益区、宣威市、会泽县、马龙区、陆良县、师宗县、麒麟区、富源县)
许昌市(襄城县、建安区、禹州市、魏都区、鄢陵县、长葛市)
梅州市(兴宁市、梅县区、大埔县、平远县、蕉岭县、五华县、丰顺县、梅江区)
商洛市(丹凤县、山阳县、商南县、商州区、镇安县、洛南县、柞水县)
亳州市(蒙城县、利辛县、涡阳县、谯城区)
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吐鲁番市(托克逊县、高昌区、鄯善县)
武威市(天祝藏族自治县、民勤县、古浪县、凉州区)
安阳市(北关区、林州市、滑县、内黄县、龙安区、汤阴县、文峰区、安阳县、殷都区)
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内蒙古自治区
吴忠市(青铜峡市、盐池县、红寺堡区、同心县、利通区)
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铜川市(宜君县、王益区、耀州区、印台区)
孝感市(孝南区、应城市、云梦县、安陆市、大悟县、汉川市、孝昌县)
七台河市(茄子河区、新兴区、勃利县、桃山区)
漳州市(长泰区、南靖县、华安县、云霄县、平和县、龙海区、诏安县、芗城区、东山县、龙文区、漳浦县)
克孜勒苏柯尔克孜自治州(乌恰县、阿克陶县、阿图什市、阿合奇县)
张掖市(民乐县、肃南裕固族自治县、高台县、山丹县、甘州区、临泽县)
克拉玛依市(白碱滩区、独山子区、乌尔禾区、克拉玛依区)
长沙市(望城区、芙蓉区、雨花区、宁乡市、开福区、天心区、浏阳市、岳麓区、长沙县)
阳泉市(城区、盂县、郊区、平定县、矿区)
丹东市(振安区、振兴区、元宝区、宽甸满族自治县、东港市、凤城市)
定西市(安定区、岷县、通渭县、渭源县、漳县、临洮县、陇西县)
安康市(石泉县、平利县、宁陕县、镇坪县、汉滨区、汉阴县、岚皋县、紫阳县、白河县、旬阳市)
商丘市(夏邑县、宁陵县、梁园区、睢阳区、永城市、虞城县、柘城县、睢县、民权县)
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揭阳市(揭东区、惠来县、榕城区、普宁市、揭西县)
中国半导体设备产业动态频频,以中微公司和北方华创为代表的国内龙头企业纷纷展现强劲的增长势头和战略布局。中微公司通过大幅增资强化技术研发和市场拓展,巩固其在刻蚀设备领域的领先地位;北方华创则通过对外投资和股权收购,积极拓展业务版图,并在业绩上实现显著增长。
众所周知,中国正在加紧推进半导体的国产化进程,其中设备作为半导体产业的基石,其国产化水平决定着整个半导体产业链的自主可控程度。近期有预测称,到2025年中国大陆半导体设备整体国产化率有望达到50%,该消息引起了行业一众关注。究竟真实进展如何?
中微公司增资至40亿,增幅300%
4月21日,企查查显示,中微半导体(上海)有限公司宣布注册资本由10亿元人民币增至40亿元人民币,增幅达300%。通过增资,中微公司将进一步增强资金实力,加速技术研发和市场拓展,提升在全球半导体设备市场的竞争力。
中微公司2024年财报显示,公司实现营业收入90.65亿元,同比增长44.7%,其中刻蚀设备贡献超72亿元,同比增长54.7%,稳居国产刻蚀设备龙头。尽管净利润约16.16亿元,同比下滑9.5%,但扣非净利润约13.88亿元,同比增长16.5%。这一下滑主要受研发投入激增影响,2024年研发费用达24.5亿元,同比增长94.3%。公司创始人尹志尧表示,2024年人均销售超过400万元,达到设备产业国际先进水平。
从出货设备来看,刻蚀领域,该公司的CCP刻蚀设备2024年生产付运超过1200反应台,创历史新高,累计装机量超过4000反应台;薄膜沉积设备领域,LPCVD设备累计出货量已突破150个反应台,2024年获得约4.76亿元批量订单,ALD(原子层沉积)设备和其他关键薄膜沉积设备研发项目正在顺利推进,EPI(外延)设备已顺利进入客户端量产验证阶段。
量测设备领域,中微公司控股子公司超微半导体设备(上海)有限公司拟增资至1.6亿元,中微公司持股比例将降至47.2%,但仍保持控制权。据悉,超微公司重点开发电子束量检测设备,该设备是芯片制造和先进封装工艺中的关键设备,对我国发展新质生产力至关重要。
今年1月,中微公司计划在成都市高新区投资设立全资子公司中微半导体设备(成都)有限公司,建设研发及生产基地暨西南总部项目。项目总投资约30.5亿元,主要用于研发薄膜设备。该公司将作为中微公司的西南总部,建设包括研发中心、生产基地和配套设施,预计2025年开工,2027年投入生产。
北方华创:拟向全资子公司增资4亿元,并参与北京电控增资
4月18日,北方华创公告,公司拟以全资子公司北方华创创新投资(北京)有限公司作为出资平台,与北京电子控股有限责任公司(以下简称“北京电控”)各出资4亿元人民币,以非公开协议方式向北京电控控股子公司北京电控产业投资有限公司增资。
据悉,电控产投将主要通过基金和股权投资方式,围绕集成电路、人工智能、物联网等应用领域,投资布局发展潜力大、技术或产品好的标的企业。此次增资总额为8亿元,其中北方华创出资4亿元,北京电控出资4亿元。增资完成后,电控产投注册资本将增至18.57亿元,北方华创持股比例为17.6847%。
资料显示,电控产投成立于2008年10月30日,注册资本12亿元,股权结构上,北京电控持有50%的股权、京东方持有33.3%股权、电子城持有16.7%股权。
值得注意的是,当前北方华创持续扩大业务布局。今年3月31日,北方华创公告,受让沈阳中科天盛自动化技术有限公司(下称“中科天盛”)持有的芯源微股份1690万股,占芯源微总股本的8.41%。更早前的3月10日,北方华创与沈阳先进制造技术产业有限公司(下称“先进制造”)签署了股份转让协议,北方华创拟受让先进制造持有的芯源微9.49%股份,合计1906.49万股,交易金额为16.87亿元。
受益于半导体行业回暖,北方华创业绩亮眼。2024年,北方华创实现营业收入298.38亿元,同比增长35.14%;归属于上市公司股东的净利润为56.21亿元,同比增长44.17%。该公司还发布了2025年一季度业绩预告显示,预计实现营收73.4亿元至89.8亿元,同比增长23.35%-50.91%;预计实现归母净利润14.2亿元至17.4亿元,同比增长24.69%-52.79%。
北方华创表示,2024年公司深耕半导体基础产品领域,经营业绩稳定增长。公司集成电路装备领域多款新产品取得突破,工艺覆盖度及市场占有率显著增长,产品销量同比大幅度增加。今年一季度,公司集成电路装备领域电容耦合等离子体刻蚀设备(CCP)、原子层沉积设备(ALD)、高端单片清洗机等多款新产品实现关键技术突破,工艺覆盖度显著增长,同时多款成熟产品市场占有率稳步提升。凭借优良的产品、技术和服务优势,公司市场份额持续扩大,营业收入同比提升。
中国半导体设备国产化进程飙升
据SEMI数据,中国作为全球最大的半导体消费市场,强劲的市场需求为半导体设备产业的发展提供了强大动力。近年来,国内半导体设备企业在技术突破和国产替代方面持续发力并取得显著进展。以北方华创、中微公司、盛美上海等为代表的设备公司,在技术研发和市场拓展上成果斐然,逐步成为市场竞争中的重要力量。截至2024年,中国半导体设备国产化率提升至13.6%,在刻蚀、清洗、去胶和CMP设备市场,国产化率已突破双位数。尽管光刻设备与国际先进水平仍存在差距,但也取得了部分突破。
全球前五大半导体设备厂商均专注于前道设备应用,分别是应用材料、ASML、东京电子、Lam Research和科磊(KLA)。其中,应用材料、东京电子、泛林半导体是平台型企业,业务横跨刻蚀、薄膜、清洗、离子注入等多个领域,而ASML和KLA属于细分领域龙头。从行业发展趋势来看,向平台型企业发展是进入全球设备第一梯队的关键路径。
由上表可知,在中国大陆,我国目前在发展平台型设备厂商方面卓有成效的主要有北方华创、中微公司、盛美上海和万业企业,而在各细分领域也出现了诸如拓荆科技、芯源微、华海清科、长川科技(维权)、精测电子、中科飞测等代表性企业。
我国设备平台型企业发展情况各有不同,北方华创发展较早,已形成规模,是国内唯一成型的平台型设备企业;中微公司和盛美上海处于加速成长阶段,具备一定规模;万业企业虽处于发展初期,但明确朝着“平台型”企业的目标迈进。从企业发展体量来看,自2022年起,设备行业诞生了北方华创和晶盛机电两个百亿设备巨头。
据全球半导体观察综合中国半导体产业协会、企业财报、半导体行业咨询公司等行业各方消息可知,我国在去胶、清洗、刻蚀设备方面国产化率较高;在CMP、热处理、薄膜沉积领域,近几年国产化取得明显突破;然而在量测、涂胶显影、光刻、离子注入等设备领域,仍较为薄弱。
去胶设备领域来看,中国半导体国产化率在2023-2024年显著提升,尤其在成熟制程(28nm及以上,下同)和中低端市场已实现较高替代率。综合行业多方数据显示,在中低端市场,国产化率约75%-90%,主要覆盖成熟制程、功率半导体、先进封装等领域;而在高端市场上,在先进逻辑芯片(14nm以下,下同)和高端存储芯片(3DNAND/DRAM)中,国产化率仍低于30%,这部分主要依赖东京电子、LamResearch等国际厂商。目前,我国在去胶设备领域的代表企业主要有屹唐半导体、浙江宇谦、上海稷以、北方华创、盛美上海等,总体来看国产设备在“去胶+清洗”集成设备中占优。
清洗设备领域,我国国产化率已不断提高至50-60%,代表企业主要有北方华创、盛美上海、至纯科技、芯源微、屹唐半导体等。
在刻蚀设备领域,我国在成熟制程国产化率约为50%-60%,主要应用于逻辑芯片、功率半导体和存储芯片(如3DNAND);而在先进制程,国产化率不足15%,高端市场被Lam Research、东京电子、应用材料等垄断。在该领域我国主要代表企业有中微公司、北方华创、嘉芯半导体、屹唐半导体等,另外拓荆科技、盛美上海、芯源微虽然没有专门推出转有的刻蚀设备,但其部分领域设备均有涉及刻蚀工艺。
在热处理设备领域,我国国产化率约为30%-40%,主要代表企业有北方华创、晶盛机电、中微公司、拓荆科技、嘉芯半导体等,另外华海清科、拓荆科技、芯源微部分领域设备均有涉及热处理工艺,占据一定市场份额。
PVD设备领域则是北方华创、捷佳伟创、嘉芯半导体、中电科、科睿设备有限公司、中科院沈阳科学仪器、合肥科晶材料、晶盛机电、中微公司、盛美上海、拓荆科技。该领域设备国产化率还处于较低水平,约为15%-20%,其中在先进制程领域,国产化率仅为10%左右,主要依赖进口。
半导体CMP设备领域,我国在成熟制程国产化率约15%-25%,主要应用于功率半导体、MEMS传感器等领域;而在先进制程上国产化率不足10%,高端市场由应用材料、荏原制作所等垄断。我国在该领域上的代表企业主要有盛美上海、华海清科、中国电科、鼎龙控股、烁科精微等。
涂胶显影设备是光刻工艺的核心设备之一,主要用于晶圆的光刻胶涂覆、显影等步骤。在该领域,我国国产化率约为10%-15%(主要集中在封装和成熟制程),前道设备国产化率不足10%。行业消息显示,涂胶显影设备的主要挑战在于设备稳定性、工艺精度(如均匀性控制)、与光刻机的协同适配方面。我国涂胶显影设备主要代表企业则是盛美上海、芯源微、北方华创、中微公司、华峰测控等。
在离子注入设备领域,我国在成熟制程上的国产化率约10%-20%,主要应用于功率半导体、MEMS传感器等非先进逻辑芯片领域;而在先进制程国产化率不足5%,市场由应用材料、Axcelis、日立国际电气主导。目前,国产设备在中高能量(>200keV)和超低能量(<1keV)离子注入领域仍落后,束流均匀性(±3%vs国际±1%)和稳定性待提升。而在晶圆尺寸适配上,12英寸设备成熟度低,8英寸设备逐步替代进口。此外在相关重要配件上如离子源、质量分析器等长期依赖进口。该领域我国主要代表企业为凯世通、中国电科、烁科中信科、北方华创、中微公司等。
半导体量测设备包括晶圆缺陷检测、关键尺寸测量(CD-SEM)、膜厚测量(椭偏仪)、套刻精度测量等,技术门槛极高。该领域整体国产化率约为10%-15%,我国主要在中低端设备和部分细分领域取得突破,其中前道高端设备(如EUV相关检测)国产化率不足5%。目前该领域的主要发展瓶颈在于核心光学部件(如高精度激光器)、算法软件(缺陷分类与数据分析)依赖进口,设备稳定性与海外巨头存在差距。在量测领域我国主要代表企业为上海微电子、中科飞测、精测电子、华海清科、北方华创等。
在半导体光刻设备前道制造(EUV/ArF浸没式)领域,国产化率约为0%-1%。而在成熟制程光刻机(KrF/i-line,90nm及以上),国产化率约10%-15%,主要用于功率半导体、MEMS、分立器件等领域。而在封装光刻机(后道先进封装),在上海微电子主导下,国产化率不断提升。在该领域我国的主要代表企业有上海微电子、中国电科、北方华创等。据悉,上海微电子计划推出支持55nm制程的KrF光刻机,并推进28nm光刻机量产验证。
新闻结尾
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