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伊犁哈萨克自治州(霍城县、伊宁市、尼勒克县、奎屯市、察布查尔锡伯自治县、昭苏县、新源县、特克斯县、巩留县、伊宁县、霍尔果斯市)
湘西土家族苗族自治州(凤凰县、泸溪县、吉首市、古丈县、保靖县、花垣县、永顺县、龙山县)
白城市(洮南市、洮北区、通榆县、镇赉县、大安市)
郑州市(登封市、上街区、巩义市、管城回族区、惠济区、金水区、中原区、新密市、二七区、新郑市、荥阳市、中牟县) 湘潭市(湘潭县、岳塘区、韶山市、雨湖区、湘乡市)
东营市(东营区、河口区、广饶县、垦利区、利津县)
荆门市(沙洋县、钟祥市、掇刀区、东宝区、京山市)
达州市(宣汉县、开江县、大竹县、通川区、达川区、万源市、渠县)
绵阳市(梓潼县、安州区、三台县、北川羌族自治县、游仙区、江油市、涪城区、盐亭县、平武县) 景德镇市(昌江区、浮梁县、乐平市、珠山区)
酒泉市(肃北蒙古族自治县、玉门市、敦煌市、瓜州县、肃州区、金塔县、阿克塞哈萨克族自治县)
松原市(前郭尔罗斯蒙古族自治县、乾安县、长岭县、宁江区、扶余市)
通化市(柳河县、二道江区、东昌区、梅河口市、辉南县、集安市、通化县)
唐山市(滦南县、开平区、古冶区、丰南区、玉田县、迁西县、丰润区、路南区、路北区、迁安市、曹妃甸区、乐亭县、遵化市、滦州市)
辽源市(龙山区、东丰县、东辽县、西安区)
成都市(新津区、简阳市、龙泉驿区、金堂县、大邑县、温江区、邛崃市、双流区、新都区、锦江区、成华区、都江堰市、彭州市、蒲江县、金牛区、武侯区、青羊区、青白江区、崇州市、郫都区)
内蒙古自治区
无锡市(滨湖区、宜兴市、新吴区、锡山区、梁溪区、江阴市、惠山区)
聊城市(高唐县、莘县、临清市、东阿县、阳谷县、茌平区、东昌府区、冠县)
张家口市(宣化区、阳原县、下花园区、怀安县、沽源县、桥东区、涿鹿县、蔚县、康保县、张北县、怀来县、万全区、桥西区、赤城县、崇礼区、尚义县)
黔东南苗族侗族自治州(施秉县、黄平县、从江县、剑河县、黎平县、丹寨县、岑巩县、三穗县、凯里市、榕江县、麻江县、台江县、雷山县、锦屏县、天柱县、镇远县)
铜川市(宜君县、耀州区、印台区、王益区)
海北藏族自治州(海晏县、刚察县、门源回族自治县、祁连县)
广元市(青川县、剑阁县、朝天区、旺苍县、利州区、苍溪县、昭化区)
阿克苏地区(乌什县、库车市、新和县、沙雅县、温宿县、阿克苏市、拜城县、柯坪县、阿瓦提县)
上海市(静安区、青浦区、黄浦区、奉贤区、普陀区、崇明区、虹口区、浦东新区、长宁区、宝山区、松江区、闵行区、金山区、徐汇区、嘉定区、杨浦区)
红河哈尼族彝族自治州(河口瑶族自治县、个旧市、金平苗族瑶族傣族自治县、蒙自市、建水县、石屏县、弥勒市、红河县、元阳县、屏边苗族自治县、绿春县、泸西县、开远市)
大连市(普兰店区、瓦房店市、长海县、中山区、旅顺口区、金州区、沙河口区、庄河市、甘井子区、西岗区)
营口市(大石桥市、西市区、盖州市、鲅鱼圈区、老边区、站前区)
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孝感市(孝昌县、大悟县、应城市、汉川市、孝南区、云梦县、安陆市)
楚雄彝族自治州(武定县、大姚县、永仁县、双柏县、楚雄市、南华县、禄丰市、元谋县、牟定县、姚安县)
宁波市(慈溪市、镇海区、海曙区、江北区、鄞州区、宁海县、北仑区、奉化区、余姚市、象山县)
荆州市(公安县、荆州区、沙市区、石首市、松滋市、江陵县、监利市、洪湖市) 普洱市(孟连傣族拉祜族佤族自治县、景谷傣族彝族自治县、江城哈尼族彝族自治县、思茅区、景东彝族自治县、西盟佤族自治县、澜沧拉祜族自治县、镇沅彝族哈尼族拉祜族自治县、宁洱哈尼族彝族自治县、墨江哈尼族自治县)
深圳市(宝安区、罗湖区、龙华区、福田区、坪山区、南山区、盐田区、光明区、龙岗区)
阳泉市(盂县、郊区、平定县、矿区、城区)
固原市(西吉县、彭阳县、泾源县、原州区、隆德县)南阳市(新野县、镇平县、唐河县、桐柏县、邓州市、卧龙区、南召县、西峡县、方城县、内乡县、宛城区、社旗县、淅川县)
铜陵市(义安区、郊区、枞阳县、铜官区) 文山壮族苗族自治州(麻栗坡县、广南县、富宁县、马关县、文山市、砚山县、丘北县、西畴县)
安顺市(关岭布依族苗族自治县、紫云苗族布依族自治县、普定县、平坝区、镇宁布依族苗族自治县、西秀区)
张家界市(桑植县、武陵源区、永定区、慈利县)
中山市秦皇岛市(山海关区、青龙满族自治县、北戴河区、海港区、卢龙县、抚宁区、昌黎县)
杭州市(滨江区、钱塘区、西湖区、萧山区、富阳区、上城区、桐庐县、临安区、拱墅区、建德市、淳安县、余杭区、临平区)
滨州市(滨城区、惠民县、博兴县、阳信县、无棣县、沾化区、邹平市)
福州市(台江区、永泰县、长乐区、马尾区、福清市、仓山区、晋安区、闽侯县、闽清县、平潭县、连江县、鼓楼区、罗源县)
芜湖市(无为市、南陵县、镜湖区、鸠江区、湾沚区、弋江区、繁昌区)
大理白族自治州(南涧彝族自治县、永平县、弥渡县、云龙县、巍山彝族回族自治县、剑川县、祥云县、宾川县、鹤庆县、洱源县、大理市、漾濞彝族自治县)
黄南藏族自治州(河南蒙古族自治县、尖扎县、泽库县、同仁市)
临沂市(费县、莒南县、罗庄区、沂南县、郯城县、临沭县、河东区、沂水县、蒙阴县、平邑县、兰陵县、兰山区)
保山市(昌宁县、腾冲市、施甸县、隆阳区、龙陵县)
石家庄市(灵寿县、高邑县、行唐县、赵县、正定县、深泽县、晋州市、平山县、辛集市、赞皇县、井陉矿区、桥西区、裕华区、新华区、长安区、鹿泉区、无极县、栾城区、藁城区、井陉县、新乐市、元氏县)
玉林市(福绵区、兴业县、陆川县、玉州区、北流市、容县、博白县)
宜昌市(伍家岗区、五峰土家族自治县、当阳市、西陵区、点军区、猇亭区、夷陵区、宜都市、长阳土家族自治县、远安县、秭归县、枝江市、兴山县)
黔南布依族苗族自治州(长顺县、三都水族自治县、贵定县、都匀市、荔波县、瓮安县、龙里县、惠水县、罗甸县、平塘县、福泉市、独山县)
铁岭市(调兵山市、清河区、银州区、铁岭县、昌图县、开原市、西丰县)
咸阳市(彬州市、永寿县、杨陵区、长武县、旬邑县、泾阳县、乾县、武功县、兴平市、渭城区、秦都区、三原县、淳化县、礼泉县)
昌都市(江达县、洛隆县、丁青县、八宿县、察雅县、类乌齐县、芒康县、贡觉县、边坝县、左贡县、卡若区)
台州市(黄岩区、临海市、温岭市、三门县、玉环市、路桥区、仙居县、椒江区、天台县)
半导体设备是半导体产业的先导、基础产业,具有技术壁垒高、研发周期长、客户验证壁垒高等特点。随着国产设备商技术与服务的不断突破与成熟,且进口设备成本增加50%+,设备的国产化率有望加速提升。
半导体设备定义
半导体设备涵盖晶圆制造、光刻、刻蚀、薄膜沉积、掺杂、表面处理及封装测试等关键环节,各设备分工协作完成芯片生产。例如,光刻机实现电路图案转移,刻蚀机精准雕刻结构,离子注入机调控电学性能,CMP确保表面平整,最终封装测试设备保障芯片可靠性。这些高精密设备的技术突破是半导体产业发展的核心驱动力,直接影响芯片性能与量产效率。
资料来源:中商产业研究院整理
半导体设备行业发展政策
近年来,中央及地方政府对半导体行业给予了高度重视和大力支持,出台了一系列扶持政策,相关政策和法规为半导体及行业及专用设备行业提供了资金、税收、技术和人才等多方面的有力支持,为国产半导体设备企业营造了良好的经营环境,大力促进了国内半导体及其专用设备产业发展,提升国产半导体设备企业的竞争力。
资料来源:中商产业研究院整理
半导体设备行业发展现状
1.全球销售额
SEMI数据显示,2024年全球半导体设备销售额为1090亿美元,其中前三季度全球半导体设备市场增长尤为强劲,销售额同比增长18.7%,环比增长13.4%。随着AI浪潮的兴起,以及下游消费电子、物联网、工业互联、汽车电子等领域同步快速发展,中商产业研究院分析师预测,2025年全球半导体设备销售额将达1231亿美元。
数据来源:SEMI、中商产业研究院整理
2.全球区域分布情况
SEAJ数据显示,2024年全球半导体设备市场中,中国大陆占比最多,达42.3%。其次分别为韩国、中国台湾、北美,占比分别为17.5%、14.1%、11.7%。
数据来源:SEAJ、中商产业研究院整理
3.中国市场规模
目前,人工智能的发展势头正盛,带动半导体行业规模迅速扩大,半导体设备需求也将大幅增长。中商产业研究院发布的《2025-2030年中国半导体设备行业市场供需趋势及发展战略研究预测报告》显示,2023年中国半导体设备市场规模约为2190.24亿元,占全球市场份额的35%,2024年约为2230亿元。中商产业研究院分析师预测,2025年中国半导体设备市场规模将达2300亿元。
数据来源:SEMI、中商产业研究院整理
4.投融资情况
目前,半导体设备投资市场火热,近几年一直维持在较高水平。IT桔子数据显示,2025年前三季度,半导体设备已披露投资事件共58起,已披露融资金额约41.84亿元。
数据来源:IT桔子、中商产业研究院整理
5.全球企业排名
2024年全球半导体设备厂商市场规模Top10与2023年的Top10设备商相同,前五排名无变化,荷兰公司阿斯麦2024年营收超300亿美元,排名首位;美国应用材料2024年营收约250亿美元,排名第二;LAM、TEL、美国科磊(KLA)分别排名第三、第四和第五;从营收金额来看,2024年前五大设备商的半导体业务的营收合计近900亿美元,约占比Top10营收合计的85%。
资料来源:CINNOResearch、中商产业研究院整理
半导体设备行业重点企业
1.北方华创
北方华创科技集团股份有限公司是中国领先的半导体装备和电子元器件供应商,成立于2001年,由北京七星华创与北方微电子战略重组而来。公司聚焦集成电路、先进封装、光伏等领域,核心产品包括刻蚀机、薄膜沉积设备(PVD/CVD)、清洗机等关键设备,技术覆盖14nm及以下先进制程,是国内半导体设备品类最全的龙头企业,承担多项国家02专项任务,客户涵盖中芯国际、长江存储等头部厂商。
2024年前三季度实现营业收入203.53亿元,同比增长39.52%;实现归母净利润44.63亿元,同比增长54.75%。2023年主营产品包括电子工艺装备、电子元器件,营收分别占整体的88.82%、11.02%。
数据来源:中商产业研究院整理数据来源:中商产业研究院整理
2.上海微电子
上海微电子装备(集团)股份有限公司(SMEE)成立于2002年,是中国唯一具备前道光刻机研发能力的企业,其主导产品600系列光刻机主要用于90nm及以上制程的集成电路制造,并在后道先进封装光刻机领域占据全球40%市场份额。公司承担国家“02专项”攻关任务,致力于突破DUV和EUV光刻技术,是国产半导体设备自主化战略的核心企业之一。
资料来源:中商产业研究院整理
3.中微公司
中微半导体设备(上海)股份有限公司(688012.SH)成立于2004年,由尹志尧博士创立,专注于刻蚀设备和MOCVD设备的研发。其等离子体刻蚀机已进入台积电5nm生产线,技术达国际领先水平;MOCVD设备全球市占率超60%,主导LED外延片制造市场。中微是首家获台积电认证的国产刻蚀设备商,客户覆盖三星、长江存储等,在介质刻蚀领域打破海外垄断。
2024年前三季度实现营业收入55.07亿元,同比增长36.28%;实现归母净利润9.13亿元,同比下降21.29%。
数据来源:中商产业研究院整理
4.屹唐半导体
北京屹唐半导体科技有限公司成立于2016年,由北京国资主导收购美国MattsonTechnology后整合成立,主营干法去胶、刻蚀、快速退火等设备,其干法去胶设备全球市占率超30%,位居第一,客户包括三星、台积电、长鑫存储等。公司产品覆盖逻辑、存储芯片制造全流程,技术节点延伸至5nm,是国产半导体设备国际化与高端化的标杆企业。
资料来源:中商产业研究院整理
5.华兴源创
苏州华兴源创科技股份有限公司成立于2005年,2019年成为科创板首家上市企业,专注半导体检测设备领域,核心产品包括显示驱动芯片测试机、晶圆光学检测仪等,突破MicroOLED和COF芯片检测技术,客户涵盖苹果、京东方、通富微电等。公司并购韩国欧立通拓展自动化测试业务,在平板显示检测设备市占率国内第一,助力国产半导体检测设备自主化。
2024年前三季度实现营业收入12.76亿元,同比下降4.63%;归母净利润亏损0.51亿元。2023年主营产品包括检测设备、治具及配件,营收分别占整体的69.23%、19.77%。
数据来源:中商产业研究院整理数据来源:中商产业研究院整理
半导体设备行业发展前景
1.政策支持加速核心技术突破
中国半导体设备行业依托国家战略级政策扶持实现关键技术突破,政府通过“国家大基金”三期注资3440亿元,重点支持设备研发与产能扩张,并配套税收优惠、人才引进等政策降低企业研发成本。例如,上海微电子在光刻机领域攻关、中微公司在刻蚀设备领域的突破,均依托政策对“卡脖子”技术的定向扶持。地方政府如上海、北京等地通过专项基金支持设备企业,形成“中央-地方”联动的政策网络,加速国产设备在成熟制程的覆盖与先进制程的突破。
2.产业链协同创新提升整体竞争力
行业竞争力的提升依赖于设计、制造、封测全链条的深度协同与区域产业集群的整合。华为海思与中芯国际联合开发7nm工艺,缩短设备验证周期;上海临港、合肥长鑫等产业集群通过集中资源实现设备、材料与制造端的无缝对接,降低技术转化成本。国产设备在清洗、去胶等环节市占率超50%,并与材料企业形成生态闭环(如沪硅产业300mm硅片良率追平国际水平、安集科技化学抛光液市占率突破15%)。头部企业如北方华创、中微公司通过并购整合技术链,构建“设备-材料-制造”协同生态。
3.技术路径多元化拓展应用场景
行业通过技术创新开辟差异化赛道,分散传统技术路线的风险。在先进制程受限背景下,国内企业转向Chiplet集成、RISC-V架构生态等方向,例如长电科技的CoWoS封装设备通过异构集成提升性能。第三代半导体(碳化硅、氮化镓)和二维芯片制造设备的突破,为汽车电子、AIoT等新兴领域提供国产替代方案。同时,北方华创的离子注入机、中微的亚埃级刻蚀设备在成熟制程中实现规模化应用,形成“成熟制程替代+新兴领域突破”的双轨路径。
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